三維輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的測量和計量設(shè)備。它不僅可以用于科學(xué)研究，還可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測，該儀器可被視為表面研究的萬用表。它利用接觸和非接觸功能的設(shè)計特點，彌補了兩種模式的局限性，發(fā)揮了表面形貌儀的測量極限。光學(xué)非接觸式具有速度快、直接三維成像、對樣品無損傷等特點。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡單，測量材料廣泛。兩種模式結(jié)合使用，可用于研究更多形狀、性質(zhì)和材料的樣品的表面形態(tài)。